изоляция диоксидом кремния и поликристаллическим кремнием

izoliavimas silicio dioksidu ir polikristaliniu siliciu statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. dioxide-polysilicon isolation vok. Siliziumdioxid-Polysilizium-Isolation, f rus. изоляция диоксидом кремния и поликристаллическим кремнием, f pranc. isolation par dioxyde-polysilicium, f